Description
Roth & Rau Muegge GmbH Magnetron Sputter Set, MH3000S 211CV + MX6000X 110KL
Modell: MH3000S211CV + MX6000X110KL
Daten:
5100V, 3x400V AC
2.45GHz, 50/60Hz
900mA, 3x19A
3000W
Magnetron Sputter Heads für Beschichtungsanlagen
Das Set besteht aus:
2x Magnetron sputtering Head
Betriebsstunden: max. 1h
– MH3000S-211CV
– ME0118P-034AB
– ME0118P-035AB
– MM1002-D110AB
1x Microwave Stromversorgung
– MX6000X-110KL
2x Verbindungskabel mit Industriesteckverbindungen L=8m
Das Magnetronsputtern ist ein plasmagestütztes Abscheideverfahren, bei dem energiereiche Ionen auf ein Target beschleunigt werden. Die Ionen treffen auf das Target und die Atome werden von der Oberfläche ausgestoßen (oder gesputtert). Diese Atome wandern in Richtung des Substrats und werden in die wachsende Schicht integriert.
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