ASML 4022.640.75531, YMCR, Antriebs- und Bewegungssteuerung Yieldstar S-200B

Description

Advanced Semiconductor Materials Lithograph Holding N.V. Antriebs- und Bewegungssteuerung Yieldstar S-200B, 4022 640 75531, YMCR

Modell: 402264075531
Typ: YMCR
Zustand: Gebraucht

Allgemeines:
Zentrale Motion-Control-Baugruppe des MECA-Subsystems einer ASML Yieldstar S-200B

Enthält Rexroth-Servo­verstärker, Leistungs- und Schutzkomponenten sowie Motor- und Encoder-Schnittstellen zur präzisen Ansteuerung der Wafer-Stage und weiterer Achsen.